U22系列单级减压阀
适用于高纯气体、非腐蚀性气体、腐蚀性气体和有毒气体。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。

结构特点：

• 316L不锈钢母体
• 膜片式硬密封，泄漏率低
• 可采用面板安装和后座安装
• 压力表标准连接：1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)
• 内部电解抛光
• 高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业
• 使用寿命长
• 100%氦气测试

材质：

• 母体：316L
• 阀座：PCTFE, Vespel^®
• 膜片：316L
• 上盖：316

功能特性：

• 流量：Cv=1.1
• 母体泄漏率：2×10^-8 atm cc/sec He
• 阀座泄漏率：4×10^-8 atm cc/sec He
• 设计验证压力：最大额定压力的150%
• 设计爆破压力：最大额定压力的400%

工作条件：

• 最大的入口压力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
• 出口压力：0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
• 温度：-40℃~74℃ (-40°F~165°F)

流道表面：

• 标准：Ra 20µin
• 可选：Ra 10µin

内部容积：

• 22.6cc

尺寸图：

流量特性曲线图：

订购指南：

端口配置：